全自動掃描電鏡是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質(zhì)間的相互作用，來激發(fā)各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
全自動掃描電鏡最基本的功能仍然是放大鏡的功能，實現(xiàn)人眼以及光學(xué)顯微鏡所觀察不到的樣本的更多細(xì)節(jié)特征。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)研究、生物學(xué)、工業(yè)制造等領(lǐng)域。
全自動掃描電鏡主要分為兩種類型：
熱發(fā)射式掃描電鏡CSEM和場發(fā)射式掃描電鏡FESEM
熱發(fā)射式掃描電鏡（C-SEM）和場發(fā)射式掃描電鏡（FE-SEM）的主要區(qū)別是電子槍發(fā)射電子的方式不同。
熱發(fā)射電子槍使用的是鎢燈絲或者六硼化鑭燈絲，在燈絲加熱到足夠的溫度之后，電子便從燈絲發(fā)射；
場發(fā)射電子槍又分為熱場發(fā)射和冷場發(fā)射兩種，電子在電場力的作用下從燈絲發(fā)射，熱場燈絲也需要加熱，冷場燈絲不需加熱。熱場和冷場電鏡各有各自的優(yōu)缺點，蔡司場發(fā)射電鏡使用的是熱場電子源。場發(fā)射式電鏡具有更高的分辨率。
二次電子圖像：反映樣品表面形貌
背散射電子圖像：反映樣品表面成分差異
能譜成分分布圖像：反映樣品表面成分組成與分布
由于掃描電子顯微鏡具有上述特點和功能，所以越來越受到科研人員的重視，用途日益廣泛。掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
